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產品名稱:二手SEM+EDX場發射電鏡

產品型號:

更新時間:2025-02-18

產品特點:二手SEM+EDX場發射電鏡:超高分辨率:場發射掃描電鏡,最大可放大100萬倍,提供超高清晰度的圖像。多功能探頭:配備SE(二次電子)、BSE(背散射)、EDS(能譜)和STEM(掃描透射)探頭,能夠實現表面形貌觀察和成分分析。

產品詳細資料:

二手SEM+EDX場發射電鏡掃描顯微鏡以電子束為光源,以光柵式掃描方式將精細聚焦的電子束照射到樣品上。二次電子、背散射電子等。電子與樣品之間相互作用所產生的電子然后被收集和處理,以獲得顯微形貌的放大圖像
普通熱發射掃描電子顯微鏡相比,場發射掃描電子顯微鏡具有更高的亮度和更小的電子束直徑,即更小的束斑尺寸和更高的分辨率。是納米尺度微區形貌分析的。

二手SEM+EDX場發射電鏡

1. 場發射電子槍
場發射電子槍分為冷場發射電子槍和熱場發射電子槍。冷場發射電子槍的電子束直徑最小,亮度最高,分辨率最高,但對真空度要求(10—10托),穩定性差。它需要一個閃光(短時間加熱到2500K)恢復,由于穩定性問題,一些擴展的分析功能無法實現。熱場發射電子槍的最大特點是束流大、穩定性強,但分辨率差(電子能量色散大)
為了提高分辨率和保證電子束的穩定性,采用場發射電子源在鎢單晶上鍍上一層氧化鋯涂層。氧化鋯將純鎢的功函數從4.5eV降低到4.5eV.2.8eV,并且高電場的應用縮小并降低勢壘,使得電子很容易用熱能跳過勢壘(而不是隧道效應)并從針尖表面逃逸。所需的真空度約為10—8~10—9托
肖特基場致發射穩定性好,總電流大,分辨率大大提高(比冷場致發射稍差)。它的功能和發展遠高于冷場發射。熱場發射目前已廣泛應用于商業應用中。基本上就是肖特基場發射。
二手SEM+EDX場發射電鏡
等勢線與磁力線正交,通過透鏡間隙向兩端延伸,形成會聚場,相當于一個“凸透鏡"。電子束通過中間時,受到強磁場的偏轉和聚焦,使大直徑的電子束通過聚光鏡后會聚成小直徑的束斑。
3. 孔徑
按孔徑大小分為大孔徑光闌和小孔徑光闌。通過大口徑光闌的束流較大,可以增強X射線。通過小孔徑光闌的束流較小,可以減少電荷量,提高成像質量。
二手SEM+EDX場發射電鏡
4.二手SEM+EDX場發射電鏡物鏡
物鏡位于鏡筒底部,用于將電子束聚焦在樣品上。通過聚焦旋鈕調節目標電流,可以改變電子束的聚焦。
德國蔡司研制出一種復合磁/靜電物鏡,保證物鏡下沒有磁場泄漏。能夠獲得高純度的二次電子信號,這有助于提高分辨率。一方面,磁性材料可以在近距離和高分辨率下觀察到。另一方面,也有可能在大寫字段中實現無失真。
5.探測器
電子束轟擊樣品表面,相互作用產生二次電子、背散射電子等。電子的空間分辨率取決于加速度電壓和樣品密度。這些電子信號由不同的探測器采集并處理成圖像。下面介紹幾種常見的電子探測器:
1) 透鏡內二次電子探測器(透鏡內SE)
透鏡內器位于物鏡上方。通過控制物鏡中的電極板電壓來選擇進入探測器的電子信息。低角度下的電子信息越多,圖像就越清晰。這些探頭適用于高分辨率表面形貌成像,即分析樣品細節。
二手SEM+EDX場發射電鏡
2)Everhart-Thornley(ET)型二次電子探測器
ET二次電子探測器位于樣品室內,由集電極柵、閃爍體、光導、倍增管和前置組成。。收集柵收集的電子被加速,在閃爍體上形成光子。形成的光子通過光電倍增管和光管,轉換成電信號,經放大器放大后輸出。這種類型的探針適用于觀察樣品的形態對比度,具有很強的立體感。充電影響小。良好的Z對比度。細節很容易受到信號擴散和高倍下清晰度不足的影響
3)后向散射檢測器
背散射探測器是一種電子探測器,它可以氣動地縮回。即使在低電壓下也能高效率地識別材料特性。它有五個獨立的部分,一個內部后方環,和四個外部象限。內部段(S1)主要反映材料對比,而外部四個象限(S2至S5)更多地用于反映形式對比。。能譜探測器受電荷的影響較小,通常比二次電子圖像具有較低的分辨率。

二手SEM+EDX場發射電鏡


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