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產品名稱:二手掃描電鏡SEM+EDX出售

產品型號:S-3000N

更新時間:2020-05-15

產品特點:二手掃描電鏡SEM+EDX出售:具有新開發的電子光學系統,強大的自動化功能,操作更簡易,助力高校,第三方,藥廠,電子廠,化工企業,研究院等。

產品詳細資料:

二手掃描電鏡SEM+EDX出售
日立新推出的高分辨場發射掃描電鏡,1kv的分辨率提升到1.3nm,并在探測器設計上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號,實現微區的形貌襯度、原子序數襯度、結晶襯度和電位襯度的觀測;結合選配的STEM探測器,還可以實現明場像和暗場像的觀測;此外在半導體應用中,還可以安裝EBIC探測器,采集感生電流圖像,極大豐富了信號的采集,對樣品的信息的收集達到了新的高度。

二手掃描電鏡SEM+EDX出售技術特點:
1. 低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm
2. 日立的ExB設計,不需噴鍍,可以直接觀測不導電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能
6. 標配有冷指、電子槍內置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成 

項目描述
SE分辨率3.0nm (30kV),高真空模式 
10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率4.0nm (30kV),低真空模式
放大倍率x5 ~ x300,000
加速電壓0.3 ~ 30 kV
低真空范圍6 ~ 270 Pa
大樣品尺寸直徑200mm
樣品臺I型 II型
X0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
Y0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
Z5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
R360º 360º
T-20º~ +90º -20º ~ +90º
大樣品高度35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)
驅動類型手動 五軸馬達驅動
燈絲預對中鎢燈絲
物鏡光欄可移動式4孔物鏡光欄
槍偏壓固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏
檢測器二次電子檢測器
高靈敏度半導體背散射電子檢測器
分析位置WD=10mm, TOA=35o
控制鼠標、鍵盤,手動旋鈕
自動調校自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸、自動聚焦 
消像散、自動亮度對比度

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